空气经过深冷制氮机的过滤器、压缩机、冷却器、油水分离器、空气预冷器、分子筛吸附器后进入分馏塔、利用液氧、液氮沸点不同进行分离氧气和氮气，得到高纯度氮气。深冷制氮机运行时间长，减少维修量，全低压流程、节能，全铝分馏塔、不漏气，进口空压机和冷冻机组。

   深冷制氮机的整个深冷制氮的整个流程由三个部分组成的，即空气压缩及净化、空气分离、液氮汽化。

1.空气压缩及净化 
     深冷制氮是空气经空气过滤器清除灰尘和机械杂质后进入空气压缩机，压缩至所需压力，然后送入空气冷却器，降低空气温度。再进入空气干燥净化器，除去空气中的水份、二氧化碳、乙炔及其它碳氢化合物。 
2.空气分离 
     净化后的空气进入空分塔中的主换热器，被返流气体（产品氮气、废气）冷却至饱和温度，送入精馏塔底部，在塔顶部得到氮气，液空经节流后送入冷凝蒸发器蒸发，同时冷凝由精馏塔送来的部分氮气，冷凝后的液氮一部分作为精馏塔的回流液，另一部分作为液氮产品出空分塔。 
      由冷凝蒸发器出来的废气经主换热器复热到约130K进膨胀机膨胀制冷为空分塔提供冷量，膨胀后的气体一部分作为分子筛的再生和吹冷用，然后经消音器排入大气。
3.液氮汽化 
    由深冷制氮装置空分塔出来的液氮进液氮贮槽贮存，当空分设备检修时，贮槽内的液氮进入汽化器被加热后，送入产品氮气管道。 深冷制氮可制取纯度≧99.999%的氮气。

 

★现如今这种设备不太受市场的采用，占地面积大，不过也要（她）的好处，看应用在哪里。